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技術專區TECHNICAL AREA

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技術成就

產品研發

 

時間 研發成果
1998年3月  國內第一張大面積高精度鉻版掩膜版
2002年6月  國內第一套彩色濾光片用掩膜版
2002年2月  國內第一張大面積石英鉻版掩膜版
2005年12月  國內第一張激光束光刻直寫Reticle掩膜版(0.5um IC用掩膜版)
2006年1月  國內第一張彩色液晶顯示器用大面積石英掩膜版
2007年3月  國內第一張OLED用大面積鉻版掩膜版
2007年8月  國內第一張5代TFT用掩膜版生產線
2008年3月  國內第一張5代TFT用掩膜版
2010年5月  國內第一張6代TFT用掩膜版
2010年6月  國內第一張AMOLED用掩膜版測試版
2011年4月  國內第一張8096 TP掩膜版
2012年1月  國內第一張4.5代AMOLED用掩膜版
2014年4月  國內第一張8.5代TFT-LCD掩膜版
2015年2月  國內第一張5.5代LTPS用掩膜版
2016年10月  國內第一張6代LTPS用掩膜版

 

設備研發

 

時間 研發成果
2003年12月  國內第一臺高精度長尺寸測量儀
2006年5月  國內第一臺LCVD設備研制成功
2007年3月  國內第一臺CD測量機、第一臺貼膜機
2010年5月  國內第一臺PDP壁障修補機
2011年3月  國內第一臺TFT面板修補設備
2012年5月  國內第一臺TFT檢查設備
2015年12月  國內第一臺LRCD1500型LCVD修補機
2018年5月  國內第一臺8.5代CD測量機
2018年11月  國內第一臺8.5代貼膜機

 

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